本书主要内容提示
《半导体器件制造中的纯水制取》技术解析与应用
在半导体器件制造过程中，纯水的制取是至关重要的环节，它不仅关系到产品质量，还直接影响到生产效率和成本控制，本文将深入探讨半导体器件制造中的纯水制取技术，分析其重要性、制取方法及其在半导体产业中的应用。
书名：《半导体器件制造中的纯水制取技术》
作者：张晓东
出版社：电子工业出版社
出版时间：2018年
《半导体器件制造中的纯水制取技术》一书由半导体行业资深专家张晓东编著，旨在为从事半导体器件制造及相关领域的技术人员提供一本全面、实用的技术参考书，本书详细介绍了纯水制取技术在半导体器件制造中的重要性、制取方法、设备选型、运行维护等方面的知识。
1、引言
- 半导体器件制造概述
- 纯水在半导体器件制造中的重要性
2、纯水制取技术
- 纯水制取原理
- 纯水制取方法
- 纯水质量标准
3、纯水制取设备
- 反渗透设备
- 超滤设备
- 离子交换设备
- 蒸馏设备
4、纯水制取系统运行与维护
- 系统运行管理
- 设备维护与保养
- 故障分析与处理
5、纯水制取技术在半导体器件制造中的应用
- 晶圆清洗
- 化学气相沉积
- 离子注入
- 光刻
6、结论
- 纯水制取技术在半导体器件制造中的重要性
- 发展趋势与展望
本书首先介绍了半导体器件制造中纯水的重要性，阐述了纯水制取的原理和方法，详细介绍了各类纯水制取设备，包括反渗透、超滤、离子交换和蒸馏设备，随后，本书对纯水制取系统的运行管理与维护进行了深入探讨，包括系统运行管理、设备维护与保养以及故障分析与处理。
在纯水制取技术在半导体器件制造中的应用部分，本书详细介绍了纯水在晶圆清洗、化学气相沉积、离子注入和光刻等关键工艺中的应用，本书对纯水制取技术的发展趋势与展望进行了总结。
《半导体器件制造中的纯水制取技术》一书为从事半导体器件制造及相关领域的技术人员提供了一本全面、实用的技术参考书，有助于提高我国半导体器件制造水平，推动半导体产业的发展。