本书主要内容提示
《微机电系统（MEMS）原理、设计和分析》——前沿技术解析与应用指南
作者：王志伟，张晓辉
出版社：机械工业出版社
出版时间：2018年6月
《微机电系统（MEMS）原理、设计和分析》是一本系统介绍微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，简称MEMS）的原理、设计方法和分析技巧的专业书籍，本书由我国知名学者王志伟和张晓辉共同编写，旨在为广大读者提供一本全面、实用的MEMS技术参考书。
本书共分为九章，主要内容包括：
第一章：绪论
介绍了MEMS技术的背景、发展历程、应用领域以及本书的结构和内容。
第二章：MEMS基本原理
详细阐述了MEMS的基本原理，包括微结构设计、微加工技术、微电子器件、微机械器件等。
第三章：MEMS材料与工艺
介绍了MEMS常用的材料及其特性，以及微加工工艺流程和设备。
第四章：MEMS传感器
详细介绍了MEMS传感器的原理、结构、性能和应用，包括压力传感器、加速度传感器、温度传感器等。
第五章：MEMS执行器
介绍了MEMS执行器的原理、结构、性能和应用，包括微镜、微泵、微开关等。
第六章：MEMS集成电路
阐述了MEMS集成电路的设计、制造和应用，包括MEMS传感器、执行器、微系统等。
第七章：MEMS系统设计
介绍了MEMS系统的设计方法、流程和案例分析，包括系统级设计、模块级设计和电路级设计。
第八章：MEMS分析
详细介绍了MEMS系统的分析方法和技巧，包括力学分析、热分析、电磁分析等。
第九章：MEMS应用与展望
介绍了MEMS技术在各个领域的应用，并对MEMS技术的发展趋势进行了展望。
《微机电系统（MEMS）原理、设计和分析》一书全面系统地介绍了MEMS技术的原理、设计方法和分析技巧，对于从事MEMS技术研究、设计、制造和应用的工程技术人员具有很高的参考价值，本书内容丰富、结构清晰、语言简练，适合广大读者阅读和学习。